双温控器/高性能变频型 HRZD
・1台深冷器可分别控制2个系統
・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
・省空间：设置面积减小23％
・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統
・符合SEMI规格、CE标识
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZD | －30～90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水溶液（60％） |
标准型温控器 风冷460V规格 HRS200
・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)
・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。
・可设置于室外：IPX4
・体积小、省空间
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS200 | 5〜35℃ | 20.5kW | ±1.0℃ | 风冷冷冻式 | 清水 去离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/变频型 HRSH
・三变频实现了出色的节能效果！
・可设置于室外的防滴规格（IPX4）
・最高使用环境温度 45℃
・最低使用环境温度 -20℃（风冷式）
・温度稳定性 ±0.1℃（负载稳定时）
・省空间、重量轻 280kg（25kW型）
・符合CE标识、UL
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRSH | 5～35℃ | 10kW, 15kW, 20kW 25kW, 28kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
水冷式深冷器/高性能型 HRW
・工厂循环水的直接热交换器
・用于在无需冷冻机的温度范围内进行温控
・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业
・符合UL, SEMI规格及CE标识
・可选择变频型
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRW | 20～90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 （无冷冻机） | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
温控器/标准型 HRS
・广泛用于激光加工机／分析装置／LCD制造装置／模具温控等
・紧凑 W377×H615×D500mm、40kg（HRS012/018/024）
・定时运转、液面下降、停电复归、防冻结功能等
・有自我诊断功能
・CE标识、符合UL
※可提供样机试用服务。
请与您最近的营业所联系。
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS012〜060 | 5～40℃ | 1.3kW, 1.9kW, 2.4kW 3.2kW, 5.1kW, 5.9kW （60Hz时） | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/变频型 HRSH090
・消耗功率减小53%。
三变频实现了出色的节能效果！
・冷却能力：9.5kW（风冷）、11.0kW（水冷）
・温度稳定性：±0.1℃
・温度设定范围：5℃〜40℃
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRSH090 | 5～40℃ | 9.5kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/标准型 HRS090
・重量轻、外形紧凑
・冷却能力：9kW
・温度稳定性：±0.5°C
・设定温度范围：5～35°C
・最高使用环境温度：45°C
・电源：三相AC200～230V、AC380～415V
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS090 | 5～35℃ | 9kW（60Hz时） | ±0.5℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/标准型 HRS100/150
・无需加热器，利用冷冻回路的排热即可对循环液加热
・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格
・静音设计：70dB（A）
・室外设置：IPX4
・体积小、省空间
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS100 HRS150 | 5〜35℃ | 9.5kW, 14.5kW （60Hz时） | ±1.0℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/高性能变频型 HRZ
・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能
・温度范围和冷却能力范围大
・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化
・符合UL, SEMI规格及CE标识
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～90℃ 10～60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
温控器/高性能型 HRZ
・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业
・符合各种安全规格
・符合UL, SEMI规格以及CE标识
| シリーズ | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～40℃ 20～90℃ －20～90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
温控器/机架安装型 HRR
・可在安装于机架的状态下作业
前面拆装：可从前面设定、调整、维护
・省空间
19英寸机架上可安装数台
・冷却能力：1.2/1.8/2.4/3.0kW（60Hz）
・温度稳定性：±0.1℃
・全球通用电源：单相AC200～230V（50/60Hz）
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRR | 10～35℃ | 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW | ±0.1℃ | 空冷冷凍式 水冷冷凍式 | 清水 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/基本型 HRSE
・三重控制实现了大幅节能！
消耗功率降低33%
・体积小、重量轻 32kg （AC100V规格）
・无需维护：磁力泵
・静音设计：55dB（A）
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 |
|---|---|---|---|---|
| HRSE | 风冷冷冻式 | 1.2kW, 1.6kW, 2.2kW （60Hz时） | ±2.0℃ | 风冷冷冻式 |
温控器/激光用冷冻式双通道型 HRL
・1台温控器可同时控制2个系统
・省空间/省配线
设置面积减小22%
电源系统：只需一个
・节能
消耗功率降低30%
・采用触摸屏
・电源：三相AC380〜415V（50/60Hz）
三相AC460～480V（60Hz）
| 系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRL100 HRL200 HRL300 | CH1:15～25℃ CH2:20～40℃ | CH1:9kw,19kW,26kW CH2:1.0kW(最大1.5kW) | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 风冷冷冻式 | CH1:清水 CH2:清水、脱离子水（春水） |
温控器/耐环境规格 HRS-R
・对应有粉尘、飞沫、水的环境
・电装部分防护等级：IP54
・金属面板
外装部分为金属面板
可选择不锈钢面板（可选项）
・可选择大容量液箱（12L）（可选项）
・环境温度：5～45℃
| 系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS-R | 5～40℃ | 1.9kW, 2.9kW, 5kW （60Hz时） | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 | 清水 乙二醇水溶液（15%） |
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