SMC高真空阀

发布日期：2021-03-24　浏览次数：93

SMC不锈钢制高真空L型、直线型阀 XM、XY.jpg

不锈钢制高真空L型／直线型阀 XM/XY

・无气体积留的精密遗体铸造结构。
・铝制高真空L型阀，安装上具有与XL系列的互换性（XM系列）。

注）直线型无尺寸16。

系列	操作方式	轴密封方式	阀形式	材质	法兰尺寸
XMA/XYA	气控	波纹管密封	单作用（N.C.）	主体：SCS13（相当于SUS304）波纹管：SUS316L	16～80 注）
XMC/XYC	气控·	波纹管密封	双作用	主体：SCS13（相当于SUS304）波纹管：SUS316L	16～80 注）
XMD/XYD	气控	波纹管密封 O形圈密封	单作用（N.C.）	主体：SCS13（相当于SUS304）波纹管：SUS316L	25～80
XMH/XYH	手动	波纹管密封	手动	主体：SCS13（相当于SUS304）波纹管：SUS316L	16～50 注）

SMC常闭型高真空电磁阀 XSA.jpg

常闭型高真空电磁阀 XSA

・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)
・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。
・有2种接头和内螺纹可选。
・消耗功率：最多削减25％。
・质量：最多减小18％　0.5kg→0.41kg。

系列	阀形式	使用流体	配管连接方式	配管尺寸
XSA	常闭	空气惰性气体	面密封接头卡套式接头	1/4, 3/8
XSA	常闭	空气惰性气体	Rc, NPT内螺纹	1/8, 1/4, 3/8

SMC铝制高真空L型阀 XL□.jpg

铝制高真空L型阀 XL□

・耐氟。
・放出气体量少。
・重金属污染少。

※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。
　请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。

系列	操作方式	阀形式	轴密封方式	用途	法兰尺寸
XLA	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封	防尘净化	16～160
XLAV（带电磁阀）	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封	除尘净化	16～160
XLC	气控	双作用	波纹管密封	除尘净化	16～160
XLCV（带电磁阀）	气控	双作用	波纹管密封	除尘净化	16～80
XLF	气控	单作用（N.C.）	O形圈密封	高速动作高动作次数	16～160
XLFV（带电磁阀）	气控	单作用（N.C.）	O形圈	高速动作高动作次数	16～160
XLG	气控	双作用	O形圈	高速动作高动作次数	16～160
XLGV（带电磁阀）	气控	双作用	O形圈	高速动作高动作次数	16～80
XLD	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封 O形圈密封	防止扬尘防止泵过载	25～160
XLDV（带电磁阀）	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封 O形圈密封	防止扬尘防止泵过载	25～160
XLH	手动	手动	波纹管密封	除尘净化	16～50
XLS	电磁式	单作用（N.C.）	(波纹管平衡)	无需空气可搬运装置用	16，25

SMC铝材质高真空L型阀 XLA、C-100・160（-1）-X152.jpg

铝材质高真空L型阀 XLA/C-100・160（-1）-X152

・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）
・寿命：200万次
・可实现装置的省空间化
　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧两方向均可)
　安装姿势的自由度提升
・轻量、紧凑

系列	操作方式	阀形式	轴密封方式	用途	法兰尺寸
XLA-100・160-X152	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封	除尘净化	100、160

SMC铝制高真空L型阀 XLA、C、F、G.jpg

铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G

・采用铝制主体均一的烤焙温度，重量轻、外形紧凑，放出气体少，重金属污染少
・可更换波纹管

系列	操作方式	阀形式	轴密封方式	用途	法兰尺寸
XLA-2	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封	除尘净化	16～80
XLAV-2（带电磁阀）	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封	除尘净化	16～80
XLC-2	气控	双作用	波纹管密封	除尘净化	16～80
XLF-2	气控	单作用（N.C.）	O形圈密封	高速动作高动作次数	16～80
XLFV-2（带电磁阀）	气控	单作用（N.C.）	O形圈	高速动作高动作次数	16～80
XLG-2	气控	双作用	O形圈	高速动作高动作次数	16～80

SMC铝制快速拆装型高真空L型阀 XLAQ・XLDQ.jpg

铝制快速拆装型高真空L型阀 XLAQ・XLDQ

・快速拆装（无需工具）。

系列	操作方式	轴密封方式	阀形式	材质	法兰尺寸
XLAQ	气控	波纹管密封	单作用（N.C.）	主体：铝波纹管：SUS316L	16～50
XLDQ	气控	波纹管密封 O形圈密封	单作用（N.C.）	主体：铝波纹管：SUS316L	40，50